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快速的非接觸式三維輪廓表征

布魯克是三維表面計量與檢測方案的全球領導者，提供快速、可信賴及易用的非接觸式三維輪廓表征方案。樣品小至顯微視場下的MEMS結構，大到完整的機械引擎。這些方案為研發(fā)、制造及質量控制的研究者和工程師們提供了業(yè)界領先的靈敏度和穩(wěn)定性。而這正是其它計量方法在精細三維表面測量應用方面所面臨的挑戰(zhàn)。

我們的光學輪廓儀基于Wyko?專有核心技術，歷經(jīng)十代積累，提供了其他測量系統(tǒng)無法企及的高精度與穩(wěn)定性。在今日，這些正成為精密表面三維測量的主流應用場景。我們的計量工具已被證明可支持全球實驗室和生產(chǎn)環(huán)境中的尖端研究和發(fā)現(xiàn)。

找到最適合您的三維光學輪廓儀

桌面型三維光學輪廓儀


三維光學輪廓儀ContourX-100	三維光學輪廓儀ContourX-200	三維光學輪廓儀ContourX-500
精簡且經(jīng)濟實惠的臺式，用于粗糙度計量	表面紋理計量的靈活臺面	用于 3D 計量的全自動臺式

落地型三維光學輪廓儀


ContourX-1000	NPFLEX-1000	三維光學輪廓儀ContourSP
Self-calibrating, fully automated solution for research and production	用于表面紋理和粗糙度測量的最多功能的落地式白光干涉儀，可用于最大尺寸樣品。	用于大容量、高精度PCB生產(chǎn)控制的大面板計量系統(tǒng)

不同領域專用的表面計量方案


精密加工	微機電系統(tǒng)和傳感器	骨科及眼科
將精密加工零件的表面紋理和幾何尺寸控制在極小的范圍內。我們的計量級測量系統(tǒng)為監(jiān)控、跟蹤、過程評估提供了充分的反饋和報告，符合GD&T規(guī)范。	提供高通量和高重復性的刻蝕深度、膜厚、臺階高度及表面粗糙度測量，還提供微機電系統(tǒng)和光學微機電系統(tǒng)的高級關鍵尺寸計量。光學輪廓儀能監(jiān)控設備從晶圓到最終產(chǎn)品的整個過程，甚至包括透明封裝。	在整個生命周期內，對植入材料及組件進行精確、可重復的測量。我們的白光干涉光學輪廓儀支持研發(fā)、質量保證及質量控制領域用戶實現(xiàn)各種場景的應用。應用場景從透鏡和注射模具的表面參數(shù)表征，到醫(yī)療器械的表面光潔度驗證和磨損都有涵蓋。

摩擦磨損	半導體	光學
測量、分析并控制摩擦、磨損、潤滑和腐蝕對材料/組件的性能及壽命的影響。定量測定磨損，及快速判定各種表面類型是否符合要求，包括反光表面、平滑表面和粗糙表面等。	通過自動化、非接觸、晶圓級別的計量系統(tǒng)，為前端和后端制程提高產(chǎn)率及降低成本。測量化學機械拋光后的樣品平面度檢測；凸塊高度、共面性及缺陷鑒定和分析；以及各種結構的關鍵尺寸測量。	通過亞納米尺度的精確、可重復的表面粗糙度測量，更好理解缺陷的根本來源，從而優(yōu)化加工過程。我們的非接觸計量系統(tǒng)能夠滿足從小型非球面和自由曲面光學器件到復雜幾何形狀光學元件、衍射光柵和微透鏡等樣品日益嚴格的要求和ISO規(guī)范。